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SB-402雙面曝光機(jī)（光刻機(jī)）主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等制作的雙面對準(zhǔn)和曝光。最大兼容4英寸晶圓。

主要技術(shù)特點(diǎn)

對準(zhǔn)工作臺：
高精度薄型精密雙層三維對準(zhǔn)工作臺，采用交叉滾柱V形導(dǎo)軌副和θ向超薄軸承及中心滑塊結(jié)構(gòu)，保證了工作臺的直線性和旋轉(zhuǎn)精度。
機(jī)械手機(jī)構(gòu)：
機(jī)械手采用直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠結(jié)構(gòu)，具有高的定位精度和重復(fù)精度。
上版架系統(tǒng)：
上掩模版的升降導(dǎo)軌選用THK可調(diào)分離型直線導(dǎo)軌，驅(qū)動采用高分辨率的數(shù)顯微分頭，從而保證兩掩模版的重復(fù)精度和定位精度。
對準(zhǔn)觀察系統(tǒng):
雙光路結(jié)構(gòu)的臥式分離視場顯微鏡，可以獲取高清晰的圖像同時兼容CCD成像液晶顯示功能
電氣控制系統(tǒng)：
整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制，提供運(yùn)行狀態(tài)顯示及多種檢測功能，易于操作，控制精度高，性能穩(wěn)定。
曝光系統(tǒng)：
上、下兩套獨(dú)立的紫外光曝光系統(tǒng)，采用先進(jìn)的結(jié)構(gòu)方案，具有較高的光強(qiáng)、均勻性、光學(xué)分辨率。

詳細(xì)參數(shù)：
□對準(zhǔn)工作臺指標(biāo):
X向行程：±4mm
Y向行程：±4mm
旋轉(zhuǎn)角θ向：±5°
基片尺寸：Maxφ4″
掩模尺寸：Max5″×5″
雙面對準(zhǔn)精度：±0.003mm
□機(jī)械手機(jī)構(gòu)指標(biāo)；
機(jī)械手對下掩模分離間隙：0～100μm（當(dāng)量1μm）
□曝光系統(tǒng)指標(biāo)；
光源：250W超高壓汞燈
波長：UV365
最大曝光面積；φ110mm
曝光不均勻性：±3%
曝光分辨率：3μm（正膠）
汞燈冷卻：風(fēng)冷
曝光時間：0～999s 檔量1s
□分離視場顯微鏡指標(biāo)：
總倍率： 65X
視場：φ3.3mm
物鏡分離距離：26～70mm
□所需設(shè)施：
輸入電壓：～220V±22V（50HZ）
整機(jī)功率：1.5KW
室內(nèi)光線: 紅色、黃色
氮?dú)猓∟2）:0.2～0.4MPa
壓縮空氣:0.5～0.7MPa
真空 :－0.08～－0.1mPa
□體積及重量：
重量： 480㎏
外形尺寸:950㎜×850㎜×1500㎜

SB-402雙面曝光機(jī)

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