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    EVG300系列兆聲清洗系統(tǒng)：EVG301

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-光刻設備-UV光刻機

    產品品牌

    奧地利EVG

    發(fā)貨期限：

    90天

    庫       存：

    1

    產       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：奧地利EVG

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-光刻設備-UV光刻機

     EVG300系列兆聲清洗系統(tǒng)：EVG301

     

     

    一、 簡介

     

    EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產品和服務遍及世界各地。

    EVG公司是一家致力于半導體制造設備的全球供應商，其豐富的產品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。

    目前已有數(shù)千臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領域。

    EVG300系列配備1MHz，30-60W的兆聲波清洗頭，能有效地去除亞微米(>0.1um)顆粒?？膳cEVG鍵合機和對準機實現(xiàn)無縫銜接，以保證鍵合前硅片的潔凈度，是實現(xiàn)SOI、Si-Si直接鍵合等工藝的必要手段。同時，EVG300系列也是高精度單片清洗工序的必備設備。

    二、應用范圍

    EVG300系列是一款單晶片或掩膜板清洗系統(tǒng)，面向以研發(fā)和小批量生產為主的客戶，廣泛應用于光刻掩膜板清洗、硅片直接鍵合、SOI鍵合前處理和其它相關領域。

     

     

    三、主要特點

    u 單片清洗，基片正面與背面間無交叉污染

    u 稀釋的化學液體清洗，有效地節(jié)省了成本

    u 基片旋轉甩干，最大轉速可為3000轉/分刷片清洗

    u 軟件可編程控制刷頭移動速度及基片旋轉速度

    u 1MHz兆聲清洗或兆聲板式清洗（可選）

    u 單面刷洗（可選）

    u 其它選項

    - 帶有IR檢測的預對準臺

    - 應對非SEMI標準的硅片夾具

    電話：18612385131

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