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臺面布局:
整機(jī)主要由機(jī)架、工藝槽體、機(jī)械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。
由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強(qiáng),設(shè)備需要做防腐處理:
(1)設(shè)備機(jī)架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑;
(2)殼體采用瓷白色PP板材焊接成型,制程區(qū)由耐酸堿PP板材組合焊接而成;
(3)電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部,與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離;
(4)槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料;
(5)機(jī)械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟/套PFA管/teflon定制,以期達(dá)到防腐耐用;
(6)藥液管路中,管子、閥門、接頭均為PFA材質(zhì);
(7)純水管路采用C-PVC
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