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設(shè)備主體由德國進口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工而成。可去除工件表面的油污及其他有機物、除膠、去金屬離子等。該設(shè)備適用于2—8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕,關(guān)鍵部件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道，保證工作介質(zhì)的潔凈度，避免雜質(zhì)析出。工藝過程全自動，由機械臂負責工件在槽體間的轉(zhuǎn)換，除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成。可存儲多條工藝時序，方便使用。人機界面為觸摸屏，方便直觀。

蘇州晶淼半導體設(shè)備有限公司致力于向客戶提供濕法制程刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、高端PP/PVC通風柜/廚、CDS化學品集中供液系統(tǒng)等一站式解決方案。我們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用與微電子、半導體、光伏、光通信、LED等行業(yè)及高等院校、研究所等高科技領(lǐng)域的生產(chǎn)和研發(fā)。
我們的每臺設(shè)備除標準化制作外，還可根據(jù)客戶的工藝需求和工作環(huán)境的具體要求，對設(shè)備進行人性化、個性化設(shè)計。

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