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l 規(guī)范：本設(shè)備的設(shè)計(jì)、選購(gòu)、制造、檢驗(yàn)和測(cè)試均按照相關(guān)國(guó)家、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證，但合同中或技術(shù)文件中另有規(guī)定的除外。外購(gòu)配件執(zhí)行相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；

l 設(shè)備包括：設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。

l 主體：設(shè)備為半敞開(kāi)式，主體使用進(jìn)口WPP15和10mm厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長(zhǎng)期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏，機(jī)臺(tái)底盤(pán)采用德國(guó)產(chǎn)瓷白PP板，熱焊接而成，可長(zhǎng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中；

l 骨架：鋼骨架+PP德國(guó)勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕。

l 臺(tái)面：高度為850mm；

l 儲(chǔ)物區(qū)：位于工作臺(tái)面左側(cè)，約280mm寬，儲(chǔ)物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐；

l 安全門(mén)：前側(cè)下開(kāi)透明安全門(mén)，腳踏控制；

工藝槽：模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤(pán)中。底盤(pán)采用滿(mǎn)焊接工藝加工而成，杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn)；

華林科納RCA清洗機(jī)

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