主體構(gòu)造特點

l 規(guī)范：本設(shè)備的設(shè)計、選購、制造、檢驗和測試均按照相關(guān)國家、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證，但合同中或技術(shù)文件中另有規(guī)定的除外。外購配件執(zhí)行相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)；

l 設(shè)備包括：設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。

l 主體：設(shè)備為半敞開式，主體使用進口WPP15和10mm厚板材，結(jié)構(gòu)設(shè)計充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏，機臺底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板，熱焊接而成，可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中；

l 骨 架：鋼骨架+PP德國勞施領(lǐng)板組合而成，防止外殼銹蝕。

l 臺面：高度為850mm；

l 儲物區(qū)：位于工作臺面左側(cè)，約280mm寬，儲物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐；

l 安全門：前側(cè)下開透明安全門，腳踏控制；

l 工藝槽：模組化設(shè)計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險；

l 管路系統(tǒng)：位于設(shè)備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明；藥液管路采用PFA管，純水管路采用白色NPP噴淋管，化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放；

l 電氣保護：電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件；

l 排 風(fēng)：后部排風(fēng)和下沉式設(shè)計，風(fēng)量可調(diào)節(jié)，對操作員有安全保護；

l 送風(fēng)：設(shè)備頂部有FFU百級凈化送風(fēng)裝置，設(shè)備沿前側(cè)板鑲嵌入墻體，保證后上部送風(fēng)；

l 照明：工作區(qū)頂部配有雙光日光燈照明；

l 水汽槍：機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)，方便操作員手工清洗槽體或工件；

l 機臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。

l 安全保障：完善的報警和保護設(shè)計，排風(fēng)壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖，直觀的操作界面，清晰的信息提示，保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處。
 

.安全保護

l 設(shè)備采用耐腐蝕導(dǎo)線并采用氟套管進行保護，防腐防水；

l 設(shè)有防漏電斷路保護裝置；

l 電控部分正壓空體保護，防水防腐；

l 配有漏電流斷路保護裝置以及過溫過載保護裝置。

l 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機和報警系統(tǒng)；

l EMO緊急開關(guān)位于機臺上方明顯處。

l 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警；

l 機臺底部設(shè)有防漏盤及漏液感知；

l 液位異常感知/安全液位保護； 

l 配有加熱保護，防干燒；

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司(CSE------www.hlcas.com)由中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所合資成立于2008年3月，投資4500萬元。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、液晶濕制程設(shè)備、真空設(shè)備的研發(fā)、技術(shù)推廣和生產(chǎn)銷售。  

蘇州華林科納公司通過與國際上知名公司的廣泛合作，目前已形成濕法清洗系統(tǒng) 刻蝕系統(tǒng)CDS系統(tǒng) 尾氣處理系統(tǒng)的四大系列數(shù)十種型號的產(chǎn)品，廣泛直用于大規(guī)模集成電路、電力電子器件、分立器件、光電子器件、MEMS和太陽能電池等領(lǐng)域，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和優(yōu)良的服務(wù)贏得了各界用戶的贊許和信賴。

蘇州華林科納于2014年11月份設(shè)立了分公司“南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(CSE------www.hlkncse.com)”，經(jīng)營范圍：半導(dǎo)體清洗設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備組裝、生產(chǎn)、設(shè)計、研發(fā)、銷售，以及相關(guān)技術(shù)推廣，自營和代理上述商品及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)。