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    ALICAT便攜式氣體質量流量計

    應用于半導體行業(yè):

    半導體器件-MFC

    庫       存:

    999

    產       地:

    美國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導體器件-MFC

     ::產品描述::

    美國ALICAT 62W系便攜式低壓損氣體質量流量計,采用專利技術的內部補償型層流壓差技術,使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異,并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。

    Alicat的62W系列便攜式低壓損質量流量計可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度,用于現(xiàn)場多種流量校準和檢測場合,超低壓損更加適用于要求苛刻的環(huán)保檢測行業(yè)。

     

    產品特色

    ●續(xù)航時間達 18小時
    超低壓損低至400Pa
    主體材質可選鋁,更優(yōu)越的導熱性能和便攜性
    數(shù)字化產品
    多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
    可選高精度:可優(yōu)于0.5%
    高量程比 200:1
    響應時間快僅需10ms
    內置98種氣體
    可現(xiàn)場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣

    性能指標

    介質要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
    介質種類:內置了98種氣體,請參考背面氣體兼容表
             
    一臺設備內置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
    量程:從0-0.5SCCM 到 0-1000SLPM
    量程比200:1
    最大顯示流量128%FS
    顯示屏:帶按鍵背光開關,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
    顯示方式:同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
    高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設 備
    重復性± 0.2% FS
    零點漂移&滿量程漂移0.02% FS / ºC / Atm
    響應時間:10ms ;預熱時間:<1s
    標定工況:25ºC & 100kPa 絕壓(可現(xiàn)場隨意在可測量范圍內更改)
    工作溫度:-10 ~ +60 ºC;充電溫度:0~ +45 ºC
    工作濕度:0-100%,無冷凝
    最大工作壓力:0.3MPa表壓,進出口最大允許瞬時壓差100kPa
    極限耐壓:1.2MPa 表壓
    數(shù)字輸出信號RS232
    模擬輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或4-20mA(最大回路電阻不超過250Ω)
    可選第二路模擬輸出:質量流量或體積流量或壓力或溫度
    供電電壓:+5 Vdc (Micro-USB-B) /+7 到 +30 Vdc (8 Pin Mini-DIN)
    電氣接口: Micro-USB-B / 8 針圓孔
    續(xù)航時間:黑白屏 18小時,彩屏 5小時
    材質: 303 & 302 不銹鋼, Viton®,硅橡膠,增強型玻璃,熱固性環(huán)氧樹 脂,鋁,硅,金,玻璃。(可選主體鋁材質)
    安裝方式:對位置無要求防護等級:IP40

     

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