性能指標
介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請參考背面氣體兼容表
一臺設備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量程:從0-0.5SCCM 到 0-3000SLPM(詳情請咨詢)
量程比:200:1
最大顯示流量:102.4%FS
顯示屏:帶按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式:同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程
高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備
重復性:± 0.2% FS
零點漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm
響應時間:100ms(可調(diào)) 預熱時間:<1s
標定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20º & 100kPa 絕壓
0º & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)
工作溫度:-10 ~ +50 º
工作濕度:0-100%,無冷凝
最大工作壓力:1MPa 表壓
極限耐壓:1.2MPa 表壓
數(shù)字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)
供電電流:250mA ~ 750mA
電氣接口:8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁
黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式:對位置無要求 防護等級:IP40