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量程
空氣/全標(biāo)度自由選擇	機(jī)身尺寸 ¼” 0 … 25 mln/min 至 0 … 60 ln/min (0 … 27 SCCM 至 0 … 64 SLPM) 機(jī)身尺寸 ½” 0 … 60 ln/min 至 0 … 450 ln/min (0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM)
儀器版本
“標(biāo)準(zhǔn)版” 經(jīng)濟(jì)型解決方案	精度：滿量程的 ± 1.0%* 量程比： 1 : 50
“高性能版” 最高的精度和量程比可用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) / GSC < 150 ln/min (150 SLPM)（空氣）	精度：滿量程的 ± 0.3% + 讀數(shù)的 ± 0.5% * 量程比： 1 : 100 *模擬信號(hào)可能會(huì)產(chǎn)生 ±0.25% 的誤差
性能資料
介質(zhì)（真實(shí)氣體校準(zhǔn)）	空氣, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8（要求的其他氣體和混合氣體） *O2 & N2 用空氣校準(zhǔn)
響應(yīng)時(shí)間	流量計(jì)：50 ms; 控制器：150 ms
可重復(fù)性	精度：滿量程的 ± 0.2%
長期穩(wěn)定性	< 測(cè)量值的1% / 年
電源	24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc，備詢
消耗電流	流量計(jì)：最大值 100 mA; 控制器：最大值 250 mA
運(yùn)行壓力	0.2 – 11 bar (3 – 160 psia) / GSC 閥門型 4.5 和 8：最大值 8 bara (120 psia)
溫度（環(huán)境 / 氣體）	0 – 50°C (32 – 122°F)
機(jī)身材料	陽極氧化鋁，可選電拋光不銹鋼
密封	FKM, NBR, 可選 EPDM
壓力靈敏度	< 讀數(shù)的 0.2% / bar（一般是 N2）
溫度靈敏度	0.025% 全標(biāo)度量程類型 / 1°C (<0.012% / 1°F)
預(yù)熱時(shí)間	全精度< 1 秒
整合 & 安裝
輸出模擬信號(hào)	0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V
輸出數(shù)字信號(hào)	RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可視化界面 / 可選配：Profibus DP-V0, DP-V1
處理連接	G¼” (BSPP* 母口 ) 達(dá) 60 ln/min (64 SLPM) G½” (BSPP* 母口) 達(dá)450 ln/min (480 SLPM) *英國并聯(lián)管路標(biāo)準(zhǔn)
入口部分	無要求
電氣連接	Sub D 插頭9 針
安裝方向	任意方向（水平方向僅限高于 5 bar）
安全性
測(cè)試壓力	16 bara (240 psia)
泄漏率	< 1 x 10-6 mbar l/s He
環(huán)境防護(hù)	IP50
EMC	EN 61326-1

高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器

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