氣體質(zhì)量流量控制器具有檢測流量同時(shí)控制流量的大小的功能，有文件稱呼為質(zhì)量流量計(jì)，但質(zhì)量流量計(jì)可能只是指檢測功能的質(zhì)量流量計(jì)，因此在定貨時(shí)請尊敬的用戶朋友你一定要注給我們的銷售工作人員說清楚，是需要控制流量大小且檢測流量的MFC還是只是檢測流量大小的MFM，這很重要?。?！
概要
C50系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進(jìn)行流量量測及控制。
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。
我司產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價(jià)格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
特點(diǎn)
o 分別有模擬式熱質(zhì)式流量計(jì)/流量控制器：
- 低單價(jià)，穩(wěn)定性能好。
- 環(huán)境溫度補(bǔ)正
- 氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用的流率范圍廣,量程可選：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 具有高精度
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o 可選用C系列控制模塊控制氣體質(zhì)量流量控制器，它具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
o 國際兼容
應(yīng)用
o 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測/控制。
o 氣體分析設(shè)備。
o 固定氣體流量控制。
o 氣體質(zhì)量流量控制器同時(shí)應(yīng)用于氣體混合或分離設(shè)備的流量控制。
質(zhì)量流量控制器流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L
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