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    MKS氣體流量計 GE50A質量流量控制器

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體器件-MFC

    產品品牌

    MKS

    規(guī)格型號：

    氣體質量流量控制器

    發(fā)貨期限：

    60天天

    庫       存：

    1000

    產       地：

    美國

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：MKS

    型號：氣體質量流量控制器

    所屬系列：半導體器件-MFC

     例：型號GE50A013502R6V010(代表的是氣體介質是氮氣，流量最大是500sccm，配件法蘭接口是Swagelok 4VCR male，通訊接口是DeviceNet，密封材料是Viton橡膠密封）                                          

     

    GE50A質量流量控制器                                                                       采購系列號GE50A

    用于標準的氣體(SEMI Gas編號）

     

     氮氣，N2  013
     氨氣，NH3  029
     六氟化硫，SF6  110

     

    流量范圍，SCCM滿量程（相當于氮氣）

     

     5  500
     10  101
     20  201
     50  501
     100  102
     200  202
     500  502
     1000  103
     2000  203
     5000  503
     10000  104
     20000  204
     30000  304
     50000  504

    裝配件（法蘭接口）

     

     

     Swagelok 4VCR male  R
     1/4 Swagelok   S
     C-Seal,(92mm port to port)  C
     W-Seal,(92mm port to port)  H

     

    通訊接口

     

     Profibus  4
     RS485  5
     DeviceNet  6
     Analog 0 to 5 VDC（9針D型）  A
     Analog 0 to 5VDC （15針D型）  B
     Analog 4 to mA（15針D型）  H

    密封材料

     標配：Viton  V
     選配：Neoprene  N
     選配：Buna-N  B
     選配：Kalrez  K

    預留MKS的未來應用

     

     

     標準  0

     

     固化軟件版本

     

     除非另有說明，MKS會安裝訂貨日期的最新固化版本軟件  10

     

     

    滿量程流量為3位數字顯示，前兩位表示量程流量的有效數字，由小數點分開；第三位表示10的指數

    注：其他氣體可選，完全替代MKS 1179A質量流量控制器

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