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當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體器件 » MFC »ALICAT低壓損型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
    包郵 關(guān)注:404

    ALICAT低壓損型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-MFC

    庫(kù)       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    美國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-MFC

     :產(chǎn)品描述::

    美國(guó)ALICAT 21W系列低壓降質(zhì)量流量控制器,采用專利技術(shù)的內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21W系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器具有超低壓損,滿量程壓損最低可達(dá)360Pa。21W系列可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合,尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。

    產(chǎn)品特點(diǎn) 
    ● 數(shù)字化產(chǎn)品
    ● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
    ● 多參數(shù)可控:質(zhì)量流量、體積流量和壓力
    ● 可選高精度:可優(yōu)于0.5%
    ● 高量程比 200:1
    ● 滿量程超低壓損最低為360Pa
    ● 閥門響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
    ● 內(nèi)置98種氣體
    ● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲(chǔ)20種混合氣

    技術(shù)參數(shù) 

    介質(zhì)要求:非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

    介質(zhì)種類:內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料下載”中氣體兼容表

    一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

    量程:從0-0.5SCCM 到 0-500SLPM(詳情請(qǐng)咨詢)

    量程比:200:1

    最大顯示流量:102.4%FS

    顯示屏:帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

    顯示方式:同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

    高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),選配

    僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

    重復(fù)性:± 0.2% FS

    零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% FS / ºC / Atm

    響應(yīng)時(shí)間:100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間:<1s

    標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

    工作溫度:-10 ~ +50 ºC

    工作濕度:0-100%,無(wú)冷凝

    標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力:0.3MPa 表壓

    標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

    中壓選項(xiàng):2MPa

    數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232或RS485或Modbus或Profibus*

    模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

    可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

    供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 MA輸出,須為15-30 Vdc)

    供電電流:250mA ~ 750mA

    電氣接口:8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

    材質(zhì):302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁

    黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃、416不銹鋼

    安裝方式:對(duì)位置無(wú)要求 防護(hù)等級(jí):IP40

    * 如選Profibus,則無(wú)模擬信號(hào),無(wú)顯示,其供電電壓及

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    應(yīng)用及案例 

    ● 低溫容器檢測(cè)
    ● 大學(xué)/研究所
    ● 泄漏檢測(cè)
    ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
    ● 汽車制造
    ● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

     

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