一、爐體材料:
★ 爐絲:Φ6~Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
★ 絕緣子:采用99瓷制作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。
★ 保溫棉: 采用英國摩根公司生產(chǎn)的高溫保溫材料。
★ 外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。
★ 熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。
★ 把口環(huán):陶瓷纖維把口環(huán),既保溫,又有一定機械強度。
二、爐體參數(shù):
★ 工作溫度: ≤1300℃
★ 恒溫區(qū)長度: 500mm-1000mm
★ 爐體內(nèi)徑: Φ90~Φ360 mm(3~12英寸)
★ 規(guī)范使用: 壽命可達20個月以上(1200℃)
★ 替代進口: 全方位配套
三、應(yīng)用:
青島晨立電子有限公司生產(chǎn)的擴散爐體主要用做半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置??膳c美國TEMPRESS、THERMCO,荷蘭ASM,英國BTU等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用國外先進的加工工藝,選用進口材料,可應(yīng)用于處理3~12英寸硅片的擴散爐/太陽能電池片擴散爐。
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