NEE-4000（A）全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
概述：NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置，其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi)，二級(jí)腔體則用于安置電子束源。這種在兩個(gè)腔體之間帶有門(mén)閥的配置可以作為預(yù)真空鎖，使得電子束源腔體保持真空的情況下，實(shí)現(xiàn)基片通過(guò)主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基片時(shí)，他可以通過(guò)第三方的預(yù)真空鎖來(lái)實(shí)現(xiàn)，這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過(guò)PC計(jì)算機(jī)控制，系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力，以及對(duì)組分或組分梯度進(jìn)行編程的能力。
NEE-4000（A）全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點(diǎn)：
- 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
- 雙電子束源
- 多凹槽電子槍
- 可編程電子束掃描
- 10KW開(kāi)關(guān)電源
- 渦輪分子泵，極限真空5x10-7Torr
- 自動(dòng)上下載片
- 材料和襯墊更換非常方便
- 晶振式膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制
- 菜單驅(qū)動(dòng)，四級(jí)訪問(wèn)密碼保護(hù)
- 完全的安全聯(lián)鎖
NEE-4000（A）全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)Features：
- Sequential or Co-Evaporation
- Dual E-Beam Source
- Multi-Pocket E-Gun
- Programmable Beam Scan
- 10 KW Switching Power Supply
- Turbomolecular Pump, 10-7Torr
- Auto Load/Unload
- Easy Material and Liner Change
- Crystal Thickness Monitor
- PC Controlled with LabVIEW
- Recipe Driven, Password Protected
- Fully Safety Interlocked
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