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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 鍍膜設(shè)備 » 電子束蒸發(fā) »ULVAC蒸發(fā)臺
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    ULVAC蒸發(fā)臺

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

    產(chǎn)品品牌

    ULVAC

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    日本

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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     品牌：ULVAC

    應(yīng)用領(lǐng)域：IC,MEMS,LED,IGBT,SiC Power Device

    設(shè)備特點(diǎn)：本設(shè)備是用于在半導(dǎo)體或特種材料基板上進(jìn)行金屬、ITO等材料蒸鍍的批處理式高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。 

    可通過觸摸屏進(jìn)行集中操作控制，自動完成從真空排氣至鍍膜的所有過程。適用于半導(dǎo)體、LED、電力電子等行業(yè)芯片的科研及小批量生產(chǎn)。

    ?可搭載多種蒸發(fā)源 (EB, RH, EB + RH 等)

    ?可搭載多種夾具，對應(yīng)不同工藝(lift-off, planetary, satellite 等)

    ?可搭載多種基板; 基板尺寸從2寸到6寸，材料為硅，玻璃等

    ?可通過 LCD 觸摸屏進(jìn)行操作

    ?PC控制系統(tǒng)以及各種功能(工藝參數(shù)，記錄數(shù)據(jù)，維護(hù)保養(yǎng))

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