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    包郵 關(guān)注:662

    蒸發(fā)臺(tái)EI-5Z

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

    產(chǎn)品品牌

    ULVAC

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:ULVAC

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-電子束蒸發(fā)

    一、基板
    材料:Si、Mo、Glass、GaN、GaAs等
    尺寸直徑:2-8英寸圓片及各種形狀的基板
    二、真空條件
    油旋片泵+低溫泵U16P
    極限壓強(qiáng):小于3.0*10-6Pa
    排氣速度:20分鐘內(nèi)達(dá)到3.0*10-6Pa
    三、成膜
    蒸發(fā)源:電子束式,10KW/16KW,坩堝型號(hào)20cc、40cc、110cc(可選),熱阻式:備選。
    行星式:公轉(zhuǎn)式,衛(wèi)星式
    基板內(nèi):基板均勻性在5%以內(nèi)
    四、加熱方式
    紅外燈加熱,最高350℃
    五、操作模式
    GPCS-2700觸摸屏控制,PC+PLC

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    服務(wù)熱線

    4001027270

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