一、基板
材料:Si、Mo、Glass、GaN、GaAs等
尺寸直徑:2-8英寸圓片及各種形狀的基板
二、真空條件
油旋片泵+低溫泵U16P
極限壓強(qiáng):小于3.0*10-6Pa
排氣速度:20分鐘內(nèi)達(dá)到3.0*10-6Pa
三、成膜
蒸發(fā)源:電子束式,10KW/16KW,坩堝型號(hào)20cc、40cc、110cc(可選),熱阻式:備選。
行星式:公轉(zhuǎn)式,衛(wèi)星式
基板內(nèi):基板均勻性在5%以內(nèi)
四、加熱方式
紅外燈加熱,最高350℃
五、操作模式
GPCS-2700觸摸屏控制,PC+PLC
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