服務(wù)熱線
4001027270
項目
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參數(shù)
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極限真空
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低于9.0E-5pa
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恢復(fù)真空
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10min內(nèi)達到3.0E-3pa
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保真空
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低于9.0E-2pa
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溫度均勻性
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280℃±10℃(30min加熱后)
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成膜均勻性
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小于5nm
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成膜再現(xiàn)性
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小于5nm
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成膜控制
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專業(yè)全自動軟件控制
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