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    包郵 關(guān)注:465

    NPB-180 分選機 測試機

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-點測、分選設備

    產(chǎn)品品牌

    新美化

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-臺灣省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:新美化

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-點測、分選設備

     Prober 特色
    •自動針高測量并顯示數(shù)據(jù)
    •顯示Chuck 三點水平調(diào)校值,加速水平校正
    •快速換針設計
    •輔助對針觀察CCD
    •Edge Sensor靈敏且穩(wěn)定
    •連續(xù)測試NG異常停機

     

    Tester 特色(LT-10)
    •積分球收光
    •光譜積分量測光強度

     

    Prober 規(guī)格

     

     

     Tester  梭特高線性度測試機 或 客戶指定
     Wafer Ring Size工作直徑

     6 ~ 10 英吋

    Φ110mm ~Φ200 mm

     Working Area of
    Wafer Test Stage
    X: 170 mm,精度(含視覺定位) <±7.7um @100mm,分解能<0.1um
    Y: 400 mm,精度(含視覺定位) <±7.7um @100mm,分解能<0.1um
    Z: 15 mm,精度<±4 um,分解能<2um
     收光積分球 最大球體直徑: Φ100mm
    收光角度: 106?
    最低收光高度: 6mm
      Index Time @Z
    工作高度 200um
     XY Pitch  200um  300um  400um  500um
     70ms  80ms  90ms  100ms  
     Pre-scan CCD Zoom Lens ,View 2.3 x 1.7 ~13.7 x 10.2 mm2 ,Resolution: 1296 x 966 pixel2
    可程控(同軸、環(huán)狀)光源
     Observing CCD  View: 1.2 x 1.8 mm2 , Resolution: 659 x 494 pixel2
     探針組  擺設位置: 7個 , 工作壓力: 2~10g

     

     

    Tester 規(guī)格(LT-10)

     

     Item  Description  Unit  Specification
     Voltage  Measurement Range  V  0~200
     Spectrometer  Measurement Range  A  1uA~1A or 0.85A
     Wavelength Range  nm  350~1050
     Resolution  nm  0.3
     Repeatability  nm  0.4
     Brightness  linearity  %  < 1.5

     

     

     Tester 配備

    1.電源供應器:KEITHLEY 2400(2600)或梭特自制電表
    2.分光卡、16 Bit AD(使用Ocean USB 2000+ )
    3.2英吋積分球

     

    Tester 選購配備
    1.ESD測試模塊
    2.4英吋積分球

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    提問:
     

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    4001027270

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