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URE-2000A型光刻機 上海佰芯
◆ 曝光面積：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）
◆ 對準精度：0.6μm
◆ 掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）
◆ 掩模相對于樣片運動行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ 最大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)
◆ 光源平行性：3.5
◆ 汞燈功率：1000W（直流）
◆ 曝光設定方式：定時（倒計時方式0.1s-999.9s任意設定）
◆ 外形尺寸:1400mm（長）1200mm(寬) 2150mm（高）
（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
◆光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風扇
◆循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對準工件臺
◆掩模樣片整體運動臺
◆掩模樣片相對運動臺
◆轉動臺
◆樣片調(diào)平機構,自動完成
◆樣片調(diào)焦機構，自動調(diào)
◆承片臺4個（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
◆掩模夾4個（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
◆基片抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡
◆光源（配備品2只）、電源
◆雙目雙視場對準顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
（4）CCD對準系統(tǒng)
◆光源（配備品3只）、電源
◆成像光學系統(tǒng)
◆數(shù)據(jù)采集卡
◆CCD
（5）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
◆單片機控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
◆計算機系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)
（6）氣動系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
◆電磁閥驅動
◆氣動儀表
（7）其他附件
◆真空泵一臺（無油泵）
◆空壓機一臺（靜音泵）
◆管道
（8）技術資料
◆使用維修說明書
◆顯微鏡使用說明書
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