URE-2000A型光刻機(jī) 上海佰芯

◆ 曝光面積：150mm×150mm
◆ 分辨力：0.8-1μm（膠厚2μm的正膠）
◆ 對(duì)準(zhǔn)精度：0.6μm
◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 樣片尺寸：直徑15mm-- 150mm；厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均勻性： 3.5%（100mm 范圍）； 5%（ 150mm范圍）
◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
◆ 最大膠厚：500m(SU8膠，用戶提供勻膠條件)
◆ 光源平行性：3.5
◆ 汞燈功率：1000W（直流）
◆ 曝光設(shè)定方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定）
◆ 外形尺寸:1400mm（長(zhǎng)）1200mm(寬) 2150mm（高）

（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)
◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
◆光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風(fēng)扇
◆循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)
◆承片臺(tái)4個(gè)（2英寸、3英寸、4英寸、6英寸）
◆掩模夾4個(gè)（3英寸、4英寸、5英寸、7英寸）
◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
◆光源（配備品2只）、電源
◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
◆目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
◆物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
（4）CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
◆光源（配備品3只）、電源
◆成像光學(xué)系統(tǒng)
◆數(shù)據(jù)采集卡
◆CCD
（5）電控系統(tǒng)
◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
◆單片機(jī)控制系統(tǒng)
◆控制柜桌
◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
◆電磁閥驅(qū)動(dòng)
◆氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
◆真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）
◆空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）
◆管道
（8）技術(shù)資料
◆使用維修說(shuō)明書
◆顯微鏡使用說(shuō)明書