太陽(yáng)能CIGS薄膜鍍膜機(jī) 沈陽(yáng)金研

1、設(shè)備用途： 采用電子束一步蒸發(fā)法用于制備CIGS（銅銦鎵硒）薄膜

2.技術(shù)數(shù)據(jù):

基片尺寸	1100mm×1400mm	基片加熱溫度	300℃
工作真空度	6.7×10^-4Pa

2.1鍍膜模式進(jìn)片室+清洗室+鍍膜室+緩沖室+出片室
2.2鍍膜室EB蒸發(fā)源三個(gè)
2.3 EB蒸發(fā)源擋板三個(gè)
2.4膜厚修正機(jī)構(gòu)二套
2.5控制方式PID可編程控，全自動(dòng)

3.技術(shù)型號(hào)：JCIGS-1型

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應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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