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    包郵 關(guān)注:2122

    等離子體刻蝕機(jī) 北京中科信電子裝備有限公司

    產(chǎn)品品牌

    中科信電子

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    ￥10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：中科信電子

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

    等離子體刻蝕機(jī) 北京中科信電子裝備有限公司

    等離子體刻蝕(PE)是指利用能與被刻蝕材料起化學(xué)反應(yīng)的氣體，通過輝光放電使之形成低溫等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料未被掩蔽的部分或蝕刻表面。屬干法刻蝕設(shè)備。

    等離子體處理可應(yīng)用于所有的基材，甚至復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、等離子體清洗，等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時(shí)的熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低，因此，低壓等離子體也能處理敏感性材料。

     

    主要工作特點(diǎn)： 
                  1.采用ICP技術(shù)，獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，減少射頻干擾，提高了刻蝕速率及工藝穩(wěn)定性；
                  2.獨(dú)特的密布小孔噴淋式設(shè)計(jì)，擴(kuò)大了刻蝕范圍，并且提高刻蝕的均勻性；
                  3.先進(jìn)的干式真空系統(tǒng)減少了油氣污染，大大提升了刻蝕的良品率；
                  4.具有手動(dòng)/自動(dòng)操作模式，方便靈活；
                  5.結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。

    主要技術(shù)參數(shù)

     

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