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    Filmlab-R100 反應(yīng)離子刻蝕機

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    提問:
     

    你們這個用的是什么氣體??HF嗎?

    gookjll  2017-08-07

     不用HF,可以使用CF4,SF6,CHF3,C4F8,O2,Ar,等各種F基氣體,特殊也可以訂做Cl基氣體的。

    2017-08-12

    應(yīng)用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

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