Universal-150
Universal-150拋光機(jī)是華海清科研發(fā)生產(chǎn)的全自動(dòng)化CMP設(shè)備，主要適用于2″～6″多種規(guī)格、材質(zhì)的化學(xué)機(jī)械拋光。該機(jī)型可對(duì)拋光壓力、拋光頭和拋光盤轉(zhuǎn)速、拋光液流量進(jìn)行主動(dòng)控制，具有摩擦力測(cè)量、溫度監(jiān)測(cè)、配備工藝程序預(yù)制、拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)等功能。同時(shí)可根據(jù)客戶要求和規(guī)格材質(zhì)進(jìn)行設(shè)計(jì)定制。
Universal-150設(shè)備優(yōu)勢(shì)：
1.操作簡(jiǎn)便，容易安裝；
2.拋光盤可實(shí)現(xiàn)快速更換，便于多種拋光墊進(jìn)行對(duì)比試驗(yàn)；
3.拋光頭可實(shí)現(xiàn)快速更換，節(jié)約時(shí)間，便于多種規(guī)格工件的加工和試驗(yàn)；
4. 夾持方式多樣化，適用于不同規(guī)格樣品加工；
5. 提供工藝支持，方便工藝驗(yàn)證；
6. 工件最大尺寸可到6”，適用范圍廣；
7.拋光盤在線修整；
8. 拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集和存儲(chǔ)；
9. 單盤雙頭擺動(dòng)拋光。
天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國(guó)家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，擁有CMP技術(shù)專利100余項(xiàng)，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、三維封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
華海清科依靠國(guó)際化的經(jīng)營(yíng)理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進(jìn)的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案。并遵循“科技服務(wù)社會(huì)”的公司宗旨，持續(xù)進(jìn)行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國(guó)內(nèi)外用戶的信賴
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