Universal-150
Universal-150拋光機(jī)是華海清科研發(fā)生產(chǎn)的全自動化CMP設(shè)備，主要適用于2″～6″多種規(guī)格、材質(zhì)的化學(xué)機(jī)械拋光。該機(jī)型可對拋光壓力、拋光頭和拋光盤轉(zhuǎn)速、拋光液流量進(jìn)行主動控制，具有摩擦力測量、溫度監(jiān)測、配備工藝程序預(yù)制、拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)采集和存儲等功能。同時可根據(jù)客戶要求和規(guī)格材質(zhì)進(jìn)行設(shè)計定制。
Universal-150設(shè)備優(yōu)勢：
1.操作簡便，容易安裝；
2.拋光盤可實現(xiàn)快速更換，便于多種拋光墊進(jìn)行對比試驗；
3.拋光頭可實現(xiàn)快速更換，節(jié)約時間，便于多種規(guī)格工件的加工和試驗；
4. 夾持方式多樣化，適用于不同規(guī)格樣品加工；
5. 提供工藝支持，方便工藝驗證；
6. 工件最大尺寸可到6”，適用范圍廣；
7.拋光盤在線修整；
8. 拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)實時采集和存儲；
9. 單盤雙頭擺動拋光。
天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略，為推動我國化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊成員來自清華大學(xué)及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，擁有CMP技術(shù)專利100余項，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、三維封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團(tuán)隊、先進(jìn)的工藝試驗條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進(jìn)的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案。并遵循“科技服務(wù)社會”的公司宗旨，持續(xù)進(jìn)行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國內(nèi)外用戶的信賴
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