Universal-300 Plus 新型12英寸CMP設(shè)備 天津華海清科機電
Universal-300 Plus是根據(jù)市場需求變化、擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的新型12英寸CMP設(shè)備， 采用Universal-300機型的成熟技術(shù),集成多種終點檢測技術(shù)，具備技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定、多單元、多工藝靈活組合等優(yōu)點，可以極大地滿足不同客戶的工藝需求，具有極強的市場競爭力。
Universal-300 Plus設(shè)備優(yōu)勢：
1.使用全自動化“干進干出”模式；
2.模塊化拋光單元創(chuàng)新設(shè)計；
3.各個模塊具有獨立的控制系統(tǒng)；
4.拋光工藝參數(shù)數(shù)據(jù)實時采集和存儲；
5.多種終點控制系統(tǒng)；
6.中芯國際產(chǎn)品線量產(chǎn)。
天津華海清科機電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略，為推動我國化學機械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，核心團隊成員來自清華大學及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，擁有CMP技術(shù)專利100余項，產(chǎn)品可廣泛應用于極大規(guī)模集成電路制造、三維封裝、微機電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
華海清科依靠國際化的經(jīng)營理念和人才團隊、先進的工藝試驗條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案。并遵循“科技服務社會”的公司宗旨，持續(xù)進行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務贏得國內(nèi)外用戶的信賴
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