網(wǎng)站首頁

|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » UV光刻機(jī) »美國ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐
    包郵 關(guān)注:710

    美國ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

    產(chǎn)品品牌

    怡和瑞豐

    規(guī)格型號:

    ABM/6/500/DUV/DCCD/M

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    美國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    10000.00
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌:怡和瑞豐

    型號:ABM/6/500/DUV/DCCD/M

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-UV光刻機(jī)

    美國ABM深紫外光刻機(jī) 怡和瑞豐



                            設(shè)備型號ABM/6/500/DUV/DCCD/M

    光學(xué)系統(tǒng):

     曝光時間調(diào)解器:0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
     365-400nm光強(qiáng)傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán);
     聲控功率警報裝置可防止系統(tǒng)功率超過設(shè)定指標(biāo);
     有安全保護(hù)裝置的溫度及其氣流傳感器;
    全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度;
    波長濾片檢查及安裝裝置
     抗衍射反射功能高效反光鏡;
     二向色的防熱透鏡裝置;
     防汞燈泄漏裝置;
     配備蠅眼棱鏡裝置
     配備深紫外光源,
        --220 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 8-10 mW/ cm2
        --254 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 12-14 mW/ cm2
        --365 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 18-20 mW/ cm2
        --400 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 30-35 mW/ cm2

    主要配置:

     6“,8”光源系統(tǒng) 
     可支持2“,3”,4“,6”,8“(圓/方片)及碎片光刻 
     手動系統(tǒng),半自動系統(tǒng), 自動對準(zhǔn)系統(tǒng)
     支持電源350-2000 Watt
     支持深紫外曝光
     CCD或顯微鏡對準(zhǔn)系統(tǒng)



    主要性能指標(biāo):

     光強(qiáng)均勻性Beam Uniformity::
        --<±1% over 2” 區(qū)域
        --<±2% over 4” 區(qū)域
        --<±3% over 6” 區(qū)域

     接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um(驗(yàn)收指標(biāo))
     
    接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.25 um(極限指標(biāo))
     正面對準(zhǔn)精度±0.5um
     
    支持正膠、負(fù)膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um
     支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻
     支持真空、接近式、接觸式曝光
     支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式

    光刻線條特征尺寸:

        應(yīng)用實(shí)例1:深紫外光源下0.25um線條
         Scanning Electron Micrographs 電子顯微鏡圖像
         Feature Sizes圖像尺寸0.25微米線條
         采用TOK DUV 光刻膠,200nm光學(xué)鏡,光刻膠厚度0.45微米。曝光時間40秒。


       

    咨詢

    購買之前,如有問題,請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號