晶圓烤箱，超潔凈烤箱工作室內(nèi)充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等電子、IC、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

晶圓烤箱，超潔凈烤箱技術(shù)參數(shù)：

內(nèi)桶：采用SUS304#鏡面不銹鋼板，經(jīng)堿性蘇打水清潔，避免烘烤時產(chǎn)生灰塵；
中桶：采用SUS304#鏡面不銹鋼板，經(jīng)堿性蘇打水清潔，全氬弧焊焊接密封，避免烘烤時自身污染；
外部材料：采用SUS304拉絲不銹鋼板制造；
保溫材料：采用國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超細(xì)玻璃棉，100K級高密度高保溫材料制造，六面保溫；
潔凈度：100級、10級、1000級

氮氣進(jìn)氣口：加裝流量計控制進(jìn)氣量,入氣口：6mm；
排氣口：自動啟動風(fēng)門,達(dá)到強烈循環(huán)效果而降溫的目的

電源：AC220V/380V 50Hz 
溫度均勻度：≤±2.0℃；

溫度范圍：RT+20～300℃，
氧含量：≤500ppm；

內(nèi)尺寸：W710mm ×D 610mm ×H 560mm（可做上下兩箱）；

傳感器：采用日制進(jìn)口感溫芯片，不銹鋼外套，輸出被控制元件：SSR固態(tài)繼電器輸出；
溫度控制器:采用多段溫度控制器，數(shù)字設(shè)定，LED顯示，PID自動演算，SSR固態(tài)繼電器輸出；
溫度控制器顯示精度: 0.1；
晶圓烤箱，超潔凈烤箱保護(hù)裝置：

超溫防止警報裝置；
電熱、馬達(dá)過電流保護(hù)；
控制回路短路及過載保護(hù)；
漏電斷路器；
逆向防止器；
機臺異常風(fēng)鳴器；

采用電磁門鎖，附斷電防開門裝置；
三色指示燈：黃色待機,綠色運轉(zhuǎn),紅色超溫指示；
配合烘烤流程，控制氮氣及空氣之啟閉，避免氮氣浪費；

配套使用設(shè)備推薦：
智能型HMDS烤箱，不銹鋼HMDS烘箱的重要性：
  光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。  在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS烤箱，不銹鋼HMDS烘箱主要技術(shù)性能：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2500W

控溫范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa（1torr）

工作室尺寸（mm）：450*450*450（可自定義）

智能型HMDS烤箱，不銹鋼HMDS烘箱的優(yōu)越性：

智能型HMDS烤箱定做，不銹鋼HMDS烘箱預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護(hù)功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。