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E2000

大批量生產(chǎn)的臥式爐

centrotherm 2000專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計，支持多種工藝能力，適用于大批量生產(chǎn)和高工藝性能的用戶，并具有突出的高性能、占地面積小、低購置成本等優(yōu)勢。該產(chǎn)品對多種應(yīng)用要求的高工藝具有的靈活性，并可高達4層石英管或硅片尺寸可達300毫米的SiC工藝管

適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
先進的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒有熱干擾
全自動片架傳送系統(tǒng)
模塊化部件設(shè)計，便于在潔凈室安裝調(diào)試

E2000-大批量生產(chǎn)的臥式爐

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