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    E1200-用于科研的臥式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫       存：

    1000

    產(chǎn)       地：

    德國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    ￥1000.00
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    品牌：Centrotherm

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     

    centrotherm E1200專為用于科研項目而設(shè)計的，適用于小批量生產(chǎn)和高性能用戶，對各種要求的高工藝具有的靈活性。

    centrotherm E1200小批量實驗室系統(tǒng)，支持多種工藝能力，適用小批量生產(chǎn)和高性能用戶，在較小占地面積上即可提供批量生產(chǎn)的所有特征

     

    適用于常壓以及LPCVD和PECVD工藝
    特殊工藝腔體3或4種版本可供選擇
    先進的冷卻系統(tǒng):不同爐管之間沒有熱干擾
    全自動片架傳送系統(tǒng)
    模塊化部件設(shè)計，便于在潔凈室安裝調(diào)試
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    • 可達5層石英管或SiC管反應(yīng)腔[硅片可達200mm]
      可選擇工藝腔體
    • 潔凈自動化的裝舟用于特級硅片工藝或其它襯底處理
    • 全自動片架傳送系統(tǒng)，工藝硅片尺寸可達200mm（E2000）
    • 先進的冷卻系統(tǒng): 不同爐管之間沒有熱干擾
    • 對潔凈室環(huán)境溫度無影響
    • 模塊化部件設(shè)計便于在潔凈室安裝調(diào)試

     

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