服務熱線
4001027270
型號 參數 |
ZZSX-500 |
ZZSX-700 |
ZZSX-800 |
ZZSX-1100 |
ZZSX-1200 |
ZZSX-1350 |
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結構形式 |
箱式前開門后置抽氣系統 |
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真空室尺寸 寬×深×高/mm |
500×500×680 |
700×700×860 |
800×800×1000 |
1100×1100×1200 |
Φ1200×1200 |
Φ1350×1240 |
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極限壓力/Pa |
≤5×10-4Pa |
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抽氣時間/min |
從1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20 |
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蒸發(fā)源 |
e型270磁偏轉電子槍 |
加速電壓/KV |
6,10兩檔可切換 |
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數量/套 |
1 |
1(根據用戶需要可安裝2套) |
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功率/kv |
6 |
10 |
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坩堝容積/ml及穴數 |
20×4(或110環(huán)形坩堝) |
22×4(或120環(huán)形坩堝) |
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電阻加熱式 |
電壓/v |
5,10 |
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功率/kw |
2.5 |
5 |
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水冷電極/對數 |
2/交替蒸發(fā) |
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工件架類型及尺寸/mm |
整體拱形夾具Φ460 |
4片拱形夾具Φ650 |
4片拱形夾具Φ740;行星夾具Φ450×3任選一種 |
4片拱形夾具Φ1000;行星夾具Φ770×3任選一種 |
4片拱形夾具Φ1100 |
4片拱形夾具Φ1240 |
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工件烘烤 |
功率/kw |
4.5 |
4.5 |
9 |
13.5 |
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溫度/℃ |
350 |
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直流離子轟擊 |
最高電壓/v |
3400 |
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額定功率/kw |
1 |
1.5 |
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真空系統配置 |
K-400油擴散泵系統 |
KT-500油擴散泵系統 |
K-600油擴散泵系統 |
KT-600油擴散泵系統 |
K-800油擴散泵系統 |
雙套K-600油擴散泵系統 |
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光學鍍膜控制 |
光纖光路,透,反射控制,波長380nm-760nm(可擴展至380nm-1100nm) |
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水冷 |
水壓/Pa |
~2.5×105Pa |
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水溫/℃ |
<25 |
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壓縮空氣/Pa |
(5-8)×105Pa |
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總功率/kw |
22 |
25 |
35 |
46 |
54 |
56 |
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占地面積/mm長×深×高 |
2600×2500×1900 |
2800×2700×2100 |
3200×3200×2400 |
3500×3600×2600 |
4000×3600×2600 |
4200×4000×2800 |
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