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    ZZSX系列鍍膜機用于多層膜的鍍制可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-鍍膜設備-等離子沉積設備

    產品品牌

    北京北儀

    規(guī)格型號:

    ZZSX系列鍍膜機

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-北京市

    數       量:

    減少 增加

    價       格:

    10000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌:北京北儀

    型號:ZZSX系列鍍膜機

    所屬系列:半導體加工設備-鍍膜設備-等離子沉積設備

    ZZSX系列鍍膜機應用范圍:
    主要用于多層膜的鍍制,可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜。
    ZZSX系列鍍膜機技術特點:
    根據需要可以增加或提高配置,如真空系統選用分子泵、低溫泵;真空室配低溫捕集器;膜厚控制采用石英晶體膜厚控制儀;輔助鍍膜采用離子源、RF射頻轟擊等。
    ZZSX系列鍍膜機主要技術參數:

    型號  參數

    ZZSX-500

    ZZSX-700

    ZZSX-800

    ZZSX-1100

    ZZSX-1200

    ZZSX-1350

    結構形式

    箱式前開門后置抽氣系統

    真空室尺寸  寬×深×高/mm

    500×500×680

    700×700×860

    800×800×1000

    1100×1100×1200

    Φ1200×1200

    Φ1350×1240

    極限壓力/Pa

    ≤5×10-4Pa

    抽氣時間/min

    從1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20

    蒸發(fā)源

    e型270磁偏轉電子槍

    加速電壓/KV

    6,10兩檔可切換

     

     

    數量/套

    1

    1(根據用戶需要可安裝2套)

     

     

    功率/kv

    6

    10

     

     

    坩堝容積/ml及穴數

    20×4(或110環(huán)形坩堝)

    22×4(或120環(huán)形坩堝)

     

    電阻加熱式

    電壓/v

    5,10

     

     

    功率/kw

    2.5

    5

     

     

    水冷電極/對數

    2/交替蒸發(fā)

    工件架類型及尺寸/mm

    整體拱形夾具Φ460

    4片拱形夾具Φ650

    4片拱形夾具Φ740;行星夾具Φ450×3任選一種

    4片拱形夾具Φ1000;行星夾具Φ770×3任選一種

    4片拱形夾具Φ1100

    4片拱形夾具Φ1240

    工件烘烤

    功率/kw

    4.5

    4.5

    9

    13.5

     

    溫度/℃

    350

    直流離子轟擊

    最高電壓/v

    3400

     

    額定功率/kw

    1

    1.5

    真空系統配置

    K-400油擴散泵系統

    KT-500油擴散泵系統

    K-600油擴散泵系統

    KT-600油擴散泵系統

    K-800油擴散泵系統

    雙套K-600油擴散泵系統

    光學鍍膜控制

    光纖光路,透,反射控制,波長380nm-760nm(可擴展至380nm-1100nm)

    水冷

    水壓/Pa

    ~2.5×105Pa

     

    水溫/℃

    <25

    壓縮空氣/Pa

    (5-8)×105Pa

    總功率/kw

    22

    25

    35

    46

    54

    56

    占地面積/mm長×深×高

    2600×2500×1900

    2800×2700×2100

    3200×3200×2400

    3500×3600×2600

    4000×3600×2600

    4200×4000×2800



     
     
     
       北京北儀創(chuàng)新真空技術有限責任公司(原北京儀器廠)創(chuàng)建于1954年,總部位于中央商務區(qū)(CBD)的中心位置。生產基地位于大興工業(yè)開發(fā)區(qū),占地面積31064平方米,建筑面積45504平方米。2003年通過ISO-2000質量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應用三大類產品,從低真空到超高真空30多個系列160多個品種。產品廣泛地應用于航天航空、電子信息、光學產業(yè)、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環(huán)保及新能源等行業(yè)。經過50多年對真空技術的探索,通過與全國多所大專院校、研究院所進行的多次合作開發(fā),以及公司研發(fā)人員不斷的創(chuàng)新與研發(fā),北儀創(chuàng)新公司始終站在中國真空行業(yè)的前沿。
        在真空測量技術、真空獲得技術、光學多層全自動鍍膜技術、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術(DC、MC、RF濺射技術)以及PECVD技術等方面處于國內領先,并有多項科研成果獲得國家專利。近年來,為多個院校、研究院所開發(fā)制造多臺用于研究薄膜太陽能電池的實驗室設備。在擁有成熟的真空技術的基礎上,2006年北儀創(chuàng)新公司研制成功了國內首條自行設計制造的非晶硅薄膜太陽能電池生產線,其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術,用于生產大型玻璃光電模板一次完成多片數十平方米的雙節(jié)非晶硅薄膜的沉積,在相對低的設備投資下取得較高的大面積模板的產量,產品的性能指標達到國際同等水平,設備銷往廣東、福建、浙江等地區(qū),改變了以往我國非晶硅薄膜電池生產線依靠進口的現狀。
     

    北儀創(chuàng)新公司一貫秉承并將繼續(xù)堅持“誠信 精益”的企業(yè)精神,不斷汲取客戶的建議及業(yè)界的先進技術,以“顧客先導 持續(xù)改進”的價值觀在合作中實現共贏。

     
     
     
     

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