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    包郵 關(guān)注:270

    微控?cái)U(kuò)散/氧化/退火系統(tǒng)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     應(yīng)用領(lǐng)域：

    本設(shè)備主要用于高溫?cái)U(kuò)散、氧化、退火等工藝

    主要特點(diǎn)：

    1）控溫精度高，可重復(fù)性好；

    2）設(shè)備使用壽命長，維護(hù)方便，維護(hù)成本低

    主要型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)：

    1350型

    1）形式：臥式、立式

    2）使用溫度：≤1370℃

    3）控溫精度：優(yōu)于±0.2℃

    4）恒溫區(qū)長度及精度：800mm，±0.2

    5）適用工藝尺寸：2-8寸

    6）控制方式：微控

    1650型

    1） 形式：立式

    2） 使用溫度：1370℃-1650℃；

    3） 控溫精度：優(yōu)于±0.2℃；

    4） 恒溫區(qū)長度及精度100mm，±0.5℃；

    5） 適用工藝尺寸2-6英寸；

    6） 控制方式：全自動(dòng)微機(jī)控制；

    7） 工藝腔體環(huán)境為水冷真空或是保護(hù)氣體；

    8） 真空度1×10-5pa；

    9） 工藝氣體：根據(jù)客戶需求定制

    10）氣路系統(tǒng)氣密性 1×10-7pa.m3/s

    2000型

    1） 形式：立式

    2） 使用溫度：1650-2000℃；

    3） 獨(dú)特的閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)科學(xué)可靠，控制精度高，可重復(fù)性好；

    4） 恒溫區(qū)長度及精度：100mm，±1℃

    5） 適用工藝尺寸：2-6英寸；

    6） 工藝管材料性能穩(wěn)定，潔凈效果好；

    7） 控制方式：全自動(dòng)微機(jī)控制；

    8） 工藝氣體：根據(jù)客戶需求定制

    9） 氣路系統(tǒng)氣密性 1×10-7pa.m3/s

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