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    包郵 關(guān)注:272

    滑軌式管式爐(T max 1100℃）

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Facerom

    發(fā)貨期限：

    30天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：Facerom

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

    滑軌管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設(shè)備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

    特點

    ? 工作溫度RT～1000℃。

    ? 爐管管徑25mm～90mm可選。

    ? 溫區(qū)個數(shù)1個

    ?程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準。可編輯、儲存并調(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡單。

    ? 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

    ? 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

    ? 爐口密封：不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。

    ?爐管保護：兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管的使用壽命。

    ?超溫保護功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。

    ?安全保護當(dāng)爐體漏電時自動斷電。

    ?LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。

    ? 額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

    真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

    氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；

    監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

                  注：選件需配置拓展柜體；

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