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    1100℃管式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Facerom

    發(fā)貨期限：

    3天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：Facerom

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     管式爐(T max 1100℃)

    管式爐設(shè)計有開啟式和非開啟式兩種選擇，多樣化的搭配，滿足實驗室多種實驗的要求，高純石英管作為爐膛，潔凈度高?？色@得不同的真空，也可實現(xiàn)多種工藝氣體控制。環(huán)形加熱腔，溫場均勻，外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合高校、科研院所實驗之用。

    特點

    ? 工作溫度RT～1000℃。

    ?溫區(qū)個數(shù)1～3個可選。

    ? 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準(zhǔn)。可編輯、儲存并調(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡單。

    ? 執(zhí)行元件進(jìn)口SSR精度高，無噪音。

    ? 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

    ? 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

    ? 不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣閥采用美標(biāo)針閥。

    ?兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管使用壽命。

    ? LED高強(qiáng)度、抗破壞、全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。

    ? 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。

    ? 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時自動斷電。

    ? 額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)：（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

    真空系統(tǒng)：（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；

    氣氛系統(tǒng)：（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；

    監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；

                  注：選件需配置拓展柜

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