網(wǎng)站首頁(yè)

|EN

當(dāng)前位置: 首頁(yè) » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 爐類設(shè)備 »氣氛管式爐
    包郵 關(guān)注:240

    氣氛管式爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    庫(kù)       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備


    1.設(shè)計(jì)溫度:1200℃
    2.爐膛材質(zhì):優(yōu)質(zhì)氣煉石英管
    3.恒溫區(qū):根據(jù)客戶要求(恒溫區(qū)內(nèi)溫差±1℃)
    4.控制溫區(qū)點(diǎn)數(shù):石英管外3個(gè)測(cè)溫點(diǎn),采用3支鉑銠熱電偶;石英管內(nèi)1個(gè)固定測(cè)溫點(diǎn),采用K型熱電偶;石英管內(nèi)1個(gè)可移動(dòng)測(cè)溫點(diǎn),K型熱電偶,用于測(cè)量溫度分布及校準(zhǔn)。
    5.加熱元件:優(yōu)質(zhì)電阻絲
    6.最大加熱功率根據(jù)工藝要求而定
        7.氣路配件材料卡套密封;兩路氣體采用質(zhì)量流量計(jì)控制,方便設(shè)定氣體流量。
    8. 極限真空預(yù)抽真空 :一級(jí)機(jī)械泵2X—4(1.0Pa 10min
    9. 外形參考尺寸可定
    10. 控溫精度:±1℃。
        11. 電源:三相五線制,AC380V 50Hz。
        12. 溫控表:日本島電,25段可編程序。
        13. 控制方式:過(guò)零觸發(fā)。
        14. 真彩觸摸屏+PLC程序控制
        15. 氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7 Pa·M3/S
        16. 最大升溫速率:15℃/Min
        17. 質(zhì)量流量計(jì)精度等級(jí):0.2%FS—0.5%FS:
        18. 質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量范圍:依據(jù)客戶工藝選擇
        19. 每臺(tái)流量計(jì)前各有一個(gè)過(guò)濾閥
    20. 每條管路各配有一個(gè)單向閥來(lái)杜絕氣體的倒流。
        21. 工作腔體壓力通過(guò)數(shù)字真空計(jì)直觀顯示。
        22. 工藝氣體在進(jìn)入工作腔體前經(jīng)過(guò)混氣包來(lái)實(shí)現(xiàn)工藝氣體按比例混合
        23. 所有氣路管件包括閥門(mén)均采用耐腐蝕不銹鋼(可耐H2S氣體高溫工作環(huán)境)

    咨詢

    購(gòu)買(mǎi)之前,如有問(wèn)題,請(qǐng)向我們咨詢

    提問(wèn):
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

    微信公眾號(hào)