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    擴散爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    濟南力冠

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：濟南力冠

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品簡介：

    設(shè)備應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件，

    適用2~8英寸硅片的擴散、氧化、退火、合金等工藝。

    產(chǎn)品特點：

    1.關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性。

    2.采用高可靠性工業(yè)計算機，對爐溫、閥門、送料舟的前進、后退、停止進行全自動控制,全部工藝過程實現(xiàn)自動化，具有高可靠性及抗干擾能力。

    3.具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)。

    4.具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇。

    5.具有多種報警功能及安全保護功能。

    6.具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間。

    7.恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度（可選擇）

     

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