麻豆国产96在线日韩麻豆,狠狠久久亚洲欧美专区

熱門產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo)
1、工藝說(shuō)明
1.1氧化干氧工藝濕氧工藝去離子水、氫氧合成-內(nèi)/外點(diǎn)火
1.2擴(kuò)散硼擴(kuò)、磷擴(kuò)液態(tài)源、固態(tài)源等
1.3合金、退火等工藝

2、系統(tǒng)組成主機(jī)加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動(dòng)送片懸臂-SiC凈化工作
臺(tái)、氣路氣源系統(tǒng)?dú)庠垂癃⒂?jì)算機(jī)控系統(tǒng)等組成

3、控制方式手動(dòng)送片/自動(dòng)送片

4、擴(kuò)散爐配置可選
4.1儀表控制/計(jì)算機(jī)控制
4.2工藝管水平結(jié)構(gòu)1-4管
4.3工藝規(guī)格2~6英寸晶圓或125mm×125mm、156mm×156mm太陽(yáng)能電池片工藝腔
體為石英或碳化硅
4.4恒溫區(qū)長(zhǎng)度1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圓裝載懸臂式剛玉/碳化硅桿碳化硅槳
4.6工作臺(tái)有凈化/無(wú)凈化
4.7工藝氣路對(duì)應(yīng)的工藝氣路氣路閥門組件采用國(guó)際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品如SWAGELOK、PARK、
SANDVIK、CARDINAL等等MFC國(guó)際優(yōu)質(zhì)如MKS、UNIT、STEC等或國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)

5、擴(kuò)散爐主要技術(shù)參數(shù)
5.1工作溫度2001300℃
5.2加熱體控制點(diǎn)3/5點(diǎn)
5.3爐體恒溫區(qū)450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒溫區(qū)精度800℃/±0.5℃ 800℃/±1℃
5.5單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性6001300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度25℃/min

擴(kuò)散爐

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

熱門產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

咨詢

裝箱清單

售后保障

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

擴(kuò)散爐

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

我要詢價(jià)

熱門產(chǎn)品

看了該商品的顧客還看了

咨詢

裝箱清單

售后保障

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：