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    包郵 關(guān)注:356

    采用伺服驅(qū)動的高速減薄機,方達立式減薄機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-磨削機

    產(chǎn)品品牌

    方達

    規(guī)格型號:

    320減薄機

    發(fā)貨期限:

    15天內(nèi)天

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國-廣東省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:方達

    型號:320減薄機

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-晶圓減薄拋光設(shè)備-磨削機

            320立式減薄機 

    主要用途:

    本設(shè)備主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的高速減薄。

    立式減薄機主要特點:

    1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。。

    2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。

    3、砂輪進給模式分三段設(shè)置,能更方便地設(shè)置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,

    4、對刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下,針對不同厚度的工件只需要一次對刀就可以連續(xù)工作,不需要每次都要對刀。

    5、本機采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件,驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動,可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。

    6、本機采用先進的臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現(xiàn)人機對話,操作簡單一目了然。

    7、設(shè)備可檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。

           8.
    減薄效率高,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度最高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度最高可減薄250微米。

     

    本司可提供免費試樣服務(wù),如有需要請咨詢:

    深圳市方達研磨技術(shù)有限公司

    業(yè)務(wù)部:張向陽

    手機:13802236969

    座機:0755-26527403

    技術(shù)部:胡先生

    電話:13823704042

    郵箱:szfd_2008@163.com

    網(wǎng)址:http://www.szfangda.cn/ http://www.ympgj.com/  http://www.lapping.com.cn/  http://www.szfangda.com.cn

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