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    TZ-803A自動探針測試臺

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-電學(xué)性能測試

    產(chǎn)品品牌

    第四十五研究所

    庫       存：

    6

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：第四十五研究所

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體測試設(shè)備-電學(xué)性能測試

    TZ-803A自動探針測試臺是針對集成電路、半導(dǎo)體分立器件的中測設(shè)備，兼容5-8英寸晶圓。具備自動掃描、自動對準(zhǔn)、自動測試等功能。它與測試儀連接后，能自動完成對芯片的電參數(shù)測試及功能測試。

    主要技術(shù)特點 
    承片臺
    全新的四軸支撐設(shè)計，滿足大行程、高精度、高剛性測試需求。
    自動傳輸系統(tǒng)
    晶圓自動傳輸系統(tǒng)由片盒承載臺、關(guān)節(jié)機械手和預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)三部分組成。是全自動探針臺的主要組成部分，具有良好的載片可靠性，預(yù)對準(zhǔn)速度、精度高等特點。
    圖像自動對準(zhǔn)系統(tǒng)
    自主研發(fā)的CCD自動掃描對準(zhǔn)系統(tǒng)，掃描對準(zhǔn)精度高、速度快。
    顯微鏡觀察系統(tǒng)
    采用新型結(jié)構(gòu)的顯微鏡觀察系統(tǒng)，可實現(xiàn)三維調(diào)節(jié)，更加貼近實際的測試需求。
    界面顯示
    Windows友好界面，測試狀態(tài)實時顯示，簡潔明了，便于使用。

    詳細(xì)參數(shù)：

    • 可測片徑： 5″、6″、8″
    •  步距范圍：0.005mm～100mm
    •  工作臺最大行程：240mm×300mm
    •  工作臺最大速度：200mm/s
    •  定位精度：≤±0.005mm/200mm
    •  步進分辨率：0.001mm
    •  承片臺Z向行程：30mm
    •  Z向重復(fù)精度：≤±0.003mm
    •  Z向分辨率：0.001mm
    •  θ向調(diào)節(jié)范圍：±5 º
    •  自動對準(zhǔn)精度：±0.005mm
    •  上、下片方式：手動或自動方式
    •  外形尺寸（寬×深×高）： 1035mm×1276mm×1500mm
    •  功率：1Kw

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