本機(jī)適用于2“-8”硅片清洗,整機(jī)均采用純天然聚丙烯(NPP德國進(jìn)口)材質(zhì)焊接而成,本體前方安裝有防護(hù)隔離門,隔離門采用進(jìn)口透明PVC板制成,前門可以輕松開閉和高度任意限定,在清洗過程中,隔離門關(guān)閉,以盡量改善工作環(huán)境并減小對(duì)人體的傷害.其內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成:加熱槽(均采用PVDF材料)、QDR快排沖洗槽、沖洗水槍(PFA)、氣槍(PFA)、電氣控制、廢液排放及排風(fēng)系統(tǒng)等。工藝過程全自動(dòng),機(jī)械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來控制,美國進(jìn)口導(dǎo)軌和機(jī)械手來滿足工藝時(shí)序整機(jī)耐酸性能好,操作人性化,運(yùn)行安全可靠,是半導(dǎo)體生產(chǎn)線理想的硅片清洗設(shè)備。