服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
Ø 鋁制工作腔室: 229 mm 高 X 330 mm寬 X 483 mm 深(內(nèi)部尺寸)
Ø 腔室觀(guān)察窗口
Ø 高電導(dǎo)真空接口及隔離閥
Ø 600 Watt 風(fēng)冷13.56 MHz 射頻發(fā)生器
Ø 兩路質(zhì)量流量控制器 (MFC), 最大流速500 scc/m
Ø 保護(hù)性氣體回填功能
Ø 控制計(jì)算機(jī)
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