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    SFQ\DYX\ECD濕化學(xué)工藝設(shè)備

    庫(kù)       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
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    SFQ系列濕法清洗設(shè)備 

    SFQ/SFQZ系列濕法設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、光電子器件、MEMS及分立器件、半導(dǎo)體材料加工、太陽能光伏等領(lǐng)域，用于各種半導(dǎo)體基片及類似材料制造過程中濕化學(xué)處理工藝，有手動(dòng)、半自動(dòng)及全自動(dòng)三種配置。

    六大專有技術(shù)

    濕法清洗設(shè)備系統(tǒng)集成技術(shù)

    氣/液自動(dòng)傳輸及控制技術(shù)

    材料與化學(xué)工程防護(hù)技術(shù)

    溫度傳遞及精確控制技術(shù)

    晶片自動(dòng)傳輸及自動(dòng)控制技術(shù)

    溶液流場(chǎng)均勻性控制技術(shù)

    主要技術(shù)特點(diǎn)：

    系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：設(shè)計(jì)緊湊、潔凈、防腐、安全、多種式樣機(jī)架可供選擇

    控制方式：采用高性能PLC或工控機(jī)實(shí)現(xiàn)集中控制，結(jié)合單元功能控制簡(jiǎn)化操作

    槽體配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不銹鋼等多種材料
       
       功能：恒溫控制（加熱    /制冷）、循環(huán)、過濾、自動(dòng)補(bǔ)液、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、超聲/兆聲、溢流、快排、鼓泡、干燥等

    定制設(shè)計(jì)：根據(jù)用戶要求提供工藝配置及技術(shù)支持

    ECD系列:


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