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    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-甩干機(jī)-多片甩干機(jī)

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    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

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    CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于硅圓片、光刻版等類似材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝，適用于2-12英寸晶圓，LXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)主要用于材料加工、太陽能電池片、分立器件等行業(yè)、單臺產(chǎn)量大、效率高。

    采用高性能可編程控制器實現(xiàn)邏輯控制

    采用彩色液晶漢顯監(jiān)控，可存儲百種用戶工藝菜單

    結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理技術(shù)

    去離子水電阻率監(jiān)控

    防靜電控制

    氮?dú)鉁囟瓤刂?/span>

    腔體溫度控制

    轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/span>

    無刷電機(jī)驅(qū)動

    旋轉(zhuǎn)載體定位

    故障診斷，顯示及報警

    CXS系列型號說明

    CXS系列型號特征與設(shè)備性能、功能的對應(yīng)關(guān)系


        




     



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