等離子刻蝕機(jī)VP-RS15真空腔體不銹鋼材質(zhì),腔體容積15升,兩路進(jìn)氣通道,進(jìn)氣量可調(diào),流量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),數(shù)顯真空檢測(cè),實(shí)時(shí)觀察自動(dòng)泄壓動(dòng)態(tài),中英文操作系統(tǒng),觸摸屏控制,功率500W,頻率13.56MHz,能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運(yùn)行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于晶圓去膠、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的處理。