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系統(tǒng)簡介
魯汶儀器生產(chǎn)的LICP-200型全自動ICP刻蝕機(jī)是一臺實(shí)驗(yàn)室用高性能刻蝕機(jī)。
具有刻蝕速率高、刻蝕精度高、刻蝕選擇比高等一系列優(yōu)點(diǎn)，已成為目前高精度微細(xì)加工必不可少的先進(jìn)工具。廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、半導(dǎo)體、微機(jī)械、納米器件、石墨烯等領(lǐng)域的微細(xì)加工。
它可通F基氣體刻蝕Si、SiO2、SiN、Poly-Si、SiC、Ge、W、Mo、Ta、鈦酸鉍、鈮酸鋰、石英等。
除了可進(jìn)行常規(guī)圖形的刻蝕加工之外，還具有刻蝕納米圖形的能力。
刻蝕工藝全自動，軟件中包含刻蝕材料的推薦工藝菜單，操作簡單，重復(fù)性好，經(jīng)久耐用。
刻蝕性能
1、最細(xì)刻蝕線寬≤100nm。
2、刻蝕均勻性:≤±5%。
3、樣品大小：≤8寸。
標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型主要配置
1、陽極氧化鋁腔室；
2、分子泵、機(jī)械泵高真空機(jī)組；
3、激勵射頻電源帶自動匹配器；
4、偏壓射頻電源帶自動匹配器；
5、數(shù)字真空計(jì)和壓力開關(guān)；
6、氣路系統(tǒng)、數(shù)字流量計(jì)，可定制增減；
7、調(diào)壓閥、高閥、低閥；
8、帶觸摸屏集成工控計(jì)算機(jī)，有嚴(yán)格的檢漏、互鎖、報警等安全措施；
9、具有He背冷系統(tǒng)，可冷卻加工基片。
江蘇魯汶儀器有限公司是由比利時魯汶儀器、中科院微電子研究所等共同注資成立。公司總部位于江蘇省邳州市，在比利時設(shè)有研發(fā)中心及銷售部，在北京和俄羅斯設(shè)有銷售部。公司秉承“以創(chuàng)新為主導(dǎo)，客戶信賴為第一”的宗旨，倡導(dǎo)精益求精的工匠精神，為客戶提供性能卓越的半導(dǎo)體研發(fā)、生產(chǎn)、材料檢測等精密設(shè)備及配套技術(shù)服務(wù)。
公司旨在研發(fā)與生產(chǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所及半導(dǎo)體生產(chǎn)線所需儀器設(shè)備，瞄準(zhǔn)定制化市場。主要產(chǎn)品有薄膜材料納米孔徑分析儀、高端平臺刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕系列設(shè)備、化學(xué)氣相沉積系列設(shè)備、濺射薄膜鍍膜系列設(shè)備、原子層鍍膜系列設(shè)備、濕法清洗刻蝕系列設(shè)備等，公司擁有自主專利技術(shù)，核心產(chǎn)品技術(shù)國際領(lǐng)先。
公司堅(jiān)持以人為本，技術(shù)團(tuán)隊(duì)囊括諾貝爾獎獲得者、兩名“千人計(jì)劃”專家，多名國內(nèi)外半導(dǎo)體領(lǐng)域知名教授及高校科研院所的年輕技術(shù)骨干。國際一流的人才團(tuán)隊(duì)為公司保持技術(shù)領(lǐng)先、實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新驅(qū)動打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
公司致力于成為全球一流的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，愿與客戶、供應(yīng)商、業(yè)界同仁及投資者共同開拓和締造半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的廣闊未來！
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