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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司生產(chǎn)的這款型號(hào)為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備(CVD鉆石生長(zhǎng)設(shè)備)具有以下優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):
. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源;上饋式圓柱型放電腔。
. 性能先進(jìn),安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好,操作簡(jiǎn)便。
. 多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護(hù)。
應(yīng)用范圍:高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長(zhǎng)。
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。
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