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成都沃特塞恩電子技術(shù)有限公司生產(chǎn)的這款型號為HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備(CVD鉆石生長設(shè)備)具有以下優(yōu)勢特點:
. 采用沃特塞恩第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源;上饋式圓柱型放電腔。
. 性能先進,安全、可靠性強、重現(xiàn)性好,操作簡便。
. 多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護。
應(yīng)用范圍:高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長。
多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。
適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
HMPS-2060SP的微波等離子體CVD設(shè)備微波等離子體CVD設(shè)備詳細參數(shù)請點擊:https://www.wattsine.com.cn
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