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    包郵 關(guān)注:989

    單晶爐NXRJ-CZ8520 B/P 直拉式硅單晶生長爐生產(chǎn)廠家

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-長晶設(shè)備-單晶爐

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    單晶爐NXRJ-CZ8520 B/P

     

    NXRJ-CZ8520 B/P
    主要功能參數(shù) NXRJ-CZ8520 B/P
    CCD 相素 2,000,000
    個數(shù) 單CCD
    IRCON 精度 0.1ºC
    晶料相關(guān) 裝料量 95Kg
    通用直徑 6~8"/或非標(biāo)
    坩鍋直徑 18"/20"
    晶棒最長尺寸 2010mm
    機(jī)器外型 中爐內(nèi)徑 850mm
    機(jī)器安裝面積 1750x1550mm
    機(jī)器高度 7300mm
    爐體重量 ~4000Kg
    電源系統(tǒng) 輸入電源 三相AC380V±5% 240KVA
    電源頻率 50HZ/60HZ
    加熱器功率 Max:150Kw Dc50V 2700A
    電源裝置 1GBT/可控硅
    可控硅&變壓器 全水冷數(shù)字CPU控制
    雙LCD顯示屏 有
    籽晶升降 籽晶行程 3200mm
    籽晶升速 低速0~10mm/min
    高速600mm/min
    籽晶轉(zhuǎn)速 0~40RPM
    籽晶繩材質(zhì) 鎢質(zhì)直徑1.8mm
    坩堝升降 坩堝行程 350mm
    坩堝升速 低速0~0.5mm/min
    高速100mm/min
    坩堝轉(zhuǎn)速 0~21RPM
    最大載重 >182Kg
    其他 籽晶晃動范圍 轉(zhuǎn)速<12RPM時晃動<2mm
    爐體水平度 水平<0.06mm/m
    極限真空 <3mT
    真空漏氣率 <0.5mT/min
    控制方式 PLC 三菱Q06H/基恩士PLC
    PC 高性能PC(雙屏)
    自動/手動 全自動
    稱重系統(tǒng) 精度 無
    液面測溫 控制范圍 無

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