服務(wù)熱線
4001027270
項(xiàng)目 |
技術(shù)參數(shù) |
外觀尺寸 |
760*500*500mm |
X、Y測(cè)量行程 |
200*200mm |
Z軸可調(diào)行程 |
50mm |
有效測(cè)量范圍 |
160*160mm |
掃描最少步距 |
5um |
最大掃描速度 |
30mm/s |
測(cè)量重復(fù)精度 |
≤0.5um |
電源 |
AC220V±10% |
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