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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備 » 表面形貌測(cè)試 » 臺(tái)階儀 »Kosaka臺(tái)階儀(ET150)
    包郵 關(guān)注:885

    Kosaka臺(tái)階儀(ET150)

    產(chǎn)品品牌

    Kosaka

    庫       存:

    2

    產(chǎn)       地:

    日本

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:Kosaka

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-表面形貌測(cè)試-臺(tái)階儀

     株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創(chuàng)立的公司,其粗度和臺(tái)階測(cè)試有著非常悠久的歷史。

    由于以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn),得以在相關(guān)測(cè)試中,特別是在工業(yè)中,得到廣泛應(yīng)用。 

    特點(diǎn):

    1、我們采用的機(jī)械直動(dòng)式設(shè)計(jì),垂直測(cè)量對(duì)于數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度有著非常好的保證。

    2、我們可以做到極佳的再現(xiàn)性(重復(fù)數(shù)次實(shí)驗(yàn)后,結(jié)果的一致性)和線性度(厚薄樣品無需多次校準(zhǔn))。

    3、高分辨率,Z方向的分辨率可以達(dá)到0.1nm。

    4、花崗巖低重心設(shè)計(jì)(120kg重),材料自吸震的特點(diǎn)可以最大程度減小振動(dòng)等外部因素帶來的誤差。

    5、長距離測(cè)量,我們是業(yè)內(nèi)唯一可以做到一次性測(cè)量100mm長距離測(cè)量的設(shè)備。

    6、在100mm測(cè)量過程中,我們通過獨(dú)立的導(dǎo)軌設(shè)計(jì),可以確保直線度

    7、對(duì)樣品,尤其是軟樣品可以做到不損傷測(cè)試。

    8、因?yàn)槲覀兪侵眲?dòng)式測(cè)量,因此對(duì)于臺(tái)階儀邊緣的測(cè)試更為準(zhǔn)確。

    9、令人信賴的售后服務(wù),我們是做企業(yè)用戶出身,因此全國有著臺(tái)階儀品牌中最多的辦事處,售后和口碑也是業(yè)內(nèi)最好的。

    10、中文/英文軟件,方便所有客戶都能最好的使用。

     

    和其他廠家的對(duì)比優(yōu)勢(shì):

    1、我們是直動(dòng)式,其他廠家是杠桿式(會(huì)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)誤差):

    臺(tái)階儀2

    因?yàn)槭歉軛U式,所以旋轉(zhuǎn)誤差會(huì)導(dǎo)致直接測(cè)量時(shí)候的誤差,其他廠家必須通過軟件校準(zhǔn),精度和準(zhǔn)確度未可知。

     臺(tái)階儀3

    我們?cè)跁r(shí)間上的變化是準(zhǔn)確的(可以反映真實(shí)周期),其他廠牌會(huì)產(chǎn)生誤差。
             臺(tái)階儀4

    當(dāng)測(cè)試樣品(臺(tái)階)邊緣時(shí),直動(dòng)式設(shè)計(jì)可以更有效測(cè)量邊緣的情況(這是當(dāng)時(shí)給卡西歐公司測(cè)量結(jié)果,他們最終因此選擇我們的設(shè)備)。 

    2、全身大理石結(jié)構(gòu)(120KG),低重心設(shè)計(jì),自帶隔振能力。

             臺(tái)階儀5

    技術(shù)參數(shù):

    一、測(cè)定工件

    v 1.最大工件尺寸:φ160mm

    2.最大工件厚度:50mm

    3.最大工件重量:2Kg

    二、檢出器

    1.Z方向測(cè)定范圍:Max.600μm

    2.Z方向分辨率:0.1nm

    3.測(cè)定力:1mg ~ 50mg

    4.探針半徑:2μm

    v 5.檢測(cè)驅(qū)動(dòng)方式:直動(dòng)式

    v 6.再現(xiàn)性:0.2nm(1μm臺(tái)階儀下)

    三、X軸

    v 1.移動(dòng)量(最大測(cè)長):100mm

    v 2.移動(dòng)真值度:0.2μm/100mm

    3.移動(dòng)、測(cè)定速度:0.005 ~ 20mm/s

    v 4.線性尺(linar scale):分解能0.1μm

    四、Z軸

    1.移動(dòng)量:50mm

    2.移動(dòng)速度:max.2mm/S

    3.檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

    4.位置決定分解能:0.1μm

    5.線性度:±0.25%

    五、工件臺(tái)

    1.工件臺(tái)尺寸:φ160mm

    2.機(jī)械手動(dòng)傾斜:± 2℃(±5mm/160mm )

    六、工件觀察:max.110倍(可選其他高倍率CCD)

    七、床臺(tái):花崗巖石材質(zhì)(120KG機(jī)臺(tái),低重心)

    八、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

    九、機(jī)臺(tái)外觀尺寸及重量:W494×D440×H630mm, 120kg

     

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