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    包郵 關注:912

    Kosaka臺階儀(ET150)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

    產(chǎn)品品牌

    Kosaka

    庫       存:

    2

    產(chǎn)       地:

    日本

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:Kosaka

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

     株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創(chuàng)立的公司,其粗度和臺階測試有著非常悠久的歷史。

    由于以下幾個優(yōu)點,得以在相關測試中,特別是在工業(yè)中,得到廣泛應用。 

    特點:

    1、我們采用的機械直動式設計,垂直測量對于數(shù)據(jù)的準確度有著非常好的保證。

    2、我們可以做到極佳的再現(xiàn)性(重復數(shù)次實驗后,結(jié)果的一致性)和線性度(厚薄樣品無需多次校準)。

    3、高分辨率,Z方向的分辨率可以達到0.1nm。

    4、花崗巖低重心設計(120kg重),材料自吸震的特點可以最大程度減小振動等外部因素帶來的誤差。

    5、長距離測量,我們是業(yè)內(nèi)唯一可以做到一次性測量100mm長距離測量的設備。

    6、在100mm測量過程中,我們通過獨立的導軌設計,可以確保直線度

    7、對樣品,尤其是軟樣品可以做到不損傷測試。

    8、因為我們是直動式測量,因此對于臺階儀邊緣的測試更為準確。

    9、令人信賴的售后服務,我們是做企業(yè)用戶出身,因此全國有著臺階儀品牌中最多的辦事處,售后和口碑也是業(yè)內(nèi)最好的。

    10、中文/英文軟件,方便所有客戶都能最好的使用。

     

    和其他廠家的對比優(yōu)勢:

    1、我們是直動式,其他廠家是杠桿式(會產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)誤差):

    臺階儀2

    因為是杠桿式,所以旋轉(zhuǎn)誤差會導致直接測量時候的誤差,其他廠家必須通過軟件校準,精度和準確度未可知。

     臺階儀3

    我們在時間上的變化是準確的(可以反映真實周期),其他廠牌會產(chǎn)生誤差。
             臺階儀4

    當測試樣品(臺階)邊緣時,直動式設計可以更有效測量邊緣的情況(這是當時給卡西歐公司測量結(jié)果,他們最終因此選擇我們的設備)。 

    2、全身大理石結(jié)構(gòu)(120KG),低重心設計,自帶隔振能力。

             臺階儀5

    技術參數(shù):

    一、測定工件

    v 1.最大工件尺寸:φ160mm

    2.最大工件厚度:50mm

    3.最大工件重量:2Kg

    二、檢出器

    1.Z方向測定范圍:Max.600μm

    2.Z方向分辨率:0.1nm

    3.測定力:1mg ~ 50mg

    4.探針半徑:2μm

    v 5.檢測驅(qū)動方式:直動式

    v 6.再現(xiàn)性:0.2nm(1μm臺階儀下)

    三、X軸

    v 1.移動量(最大測長):100mm

    v 2.移動真值度:0.2μm/100mm

    3.移動、測定速度:0.005 ~ 20mm/s

    v 4.線性尺(linar scale):分解能0.1μm

    四、Z軸

    1.移動量:50mm

    2.移動速度:max.2mm/S

    3.檢出器自動停止機能

    4.位置決定分解能:0.1μm

    5.線性度:±0.25%

    五、工件臺

    1.工件臺尺寸:φ160mm

    2.機械手動傾斜:± 2℃(±5mm/160mm )

    六、工件觀察:max.110倍(可選其他高倍率CCD)

    七、床臺:花崗巖石材質(zhì)(120KG機臺,低重心)

    八、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

    九、機臺外觀尺寸及重量:W494×D440×H630mm, 120kg

     

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