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    包郵 關(guān)注:359

    Kosaka 8寸臺階儀

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測試設(shè)備-表面形貌測試-臺階儀

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    日本

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    Kosaka 8寸臺階儀

    ET4000A

    極佳重復(fù)性與線性度


    •  采用直動式探針;

    •  可避免圓弧補正誤差;

    •  可避免Bearing間隙誤差;

    •  段差測定再現(xiàn)性;

    •  1σ 0.2nm以內(nèi),但實際高速測試中可達0.1nm


    高分辨率


    •  縱軸最高分辨率0.1nm;

    •  橫軸最高分辨率0.1um;

    •  X測定速度可調(diào):5μm~2mm/s;


    低測定力


    • 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定;

    • 可測定軟質(zhì)材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。

    超高垂直直線度

    • 可追溯性:通過ISO9000國際認(rèn)證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆有出廠測試認(rèn)證報告;

    • 超高垂直直線度精度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;

    • 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力。

    真直度保證-1


    線性尺與時間取樣


    形狀及粗度解析果

    粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,測量參數(shù)多達60種;






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