手動槽式清洗機技術參數(shù)
設備名稱 多晶料清洗臺
主要用途 主要用于多晶材料的清洗
控制模式 手動控制
主體尺寸 1180mm(L)*1180mm(W)*1825mm(H)
機臺封面 選用進口PP板材
槽體尺寸 350mm(L)*300mm(W)*30omm(H)
槽體材質(zhì) NPP板材
槽體數(shù)量 三槽(酸槽+水槽/快排槽+超聲槽)
主要功能 酸槽藥液人工配比,手動排放
自動槽式清洗機技術參數(shù)
設備名稱 全自動清洗機
主要用途 主要是對處理后的半導體材料的清洗
控制模式 手動/自動控制模式
主體規(guī)格 2800mm(L)*1000mm(W)*1900mm(H)
主要功能 采用進口PP材質(zhì)(厚度≥10mm)或SUS板材(厚度≥2mm)
槽體設計模塊化,滿足客戶多種需求
層流凈化系統(tǒng),內(nèi)部潔凈度優(yōu)化
沖洗槽電阻率實時監(jiān)測
藥液溫度控制
選配功能 全新自動熱風循環(huán)烘干系統(tǒng)
自動配/補液控制系統(tǒng)
控制方式 PLC控制,配合人機界面操作
工藝運行狀態(tài)/放據(jù),實時監(jiān)控
機械臂 機械臂自動運行,提放藍(左進右出或右進左出)
機械臂垂直升降速度:≥600mm/s
機械臂水平移動速度:≥700mm/s