| 晶圓測試探針臺 |
| 型號 |
SE-4 |
SE-6 |
SE-8 |
SE-12 |
| 外形 |
580mm長*
620mm寬*
730mm高 |
640mm長*
700mm寬*
730mm高 |
660mm長*
660mm寬*
700mm高 |
1030mm長
*820mm寬*
730mm高 |
| 重量 |
約70KG |
約80KG |
約85KG |
約180KG |
| 電力需求 |
220VC,50~60Hz |
| 樣品臺 |
尺寸 |
4英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| X-Y行程 |
4英寸*4英寸 |
6英寸*6英寸 |
8英寸*8英寸 |
12英寸*12英寸 |
| Z軸行程 |
6mm（快速切換）/6mm（微調(diào)） |
| 移動精度 |
10um/1um |
| 樣品固定方式 |
真空吸附 |
| 背電極測試功能 |
有，樣品臺電學(xué)獨立懸空 |
| 針座平臺 |
U型平臺，最多可放置6個針座 |
U型平臺，最多可放置8個針座 |
U型平臺，最多可放置10個針座 |
U型平臺，最多可放置12個針座 |
| 光學(xué)特性 |
顯微鏡行程 |
X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm |
| 顯微鏡移動精度 |
1um |
| 切換鏡頭方式 |
顯微鏡快速傾仰30度 |
| 放大倍數(shù) |
16~100X/20~4000X |
| 鏡頭規(guī)格 |
目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） |
| CCD像素 |
50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） |
| 點針規(guī)格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
| 機(jī)械精度 |
10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
| 漏電精度 |
10pA/100fA （配置屏蔽箱時） |
| 接口形式 |
香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 |
| 應(yīng)用方向 |
芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 |
| 可選附件 |
顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） |
高低溫樣品臺 |
光強/波長測試選件 |
| 顯微鏡氣動升降裝置 |
屏蔽箱 |
射頻測試附件 |
| 激光微加工 |
轉(zhuǎn)接頭 |
有源探頭 |
| 探針卡夾具 |
防震臺 |
低電流/電容測試 |
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 |
鍍金卡盤 |
兼容積分球測試選件 |
| 液晶漏電分析套裝 |
同軸叁軸卡盤 |
光纖夾具耦合測試選件 |
| 高壓/大電流測試套件 |
樣品臺快速升降，微調(diào)升降裝置選件 |
PCB/封裝夾具測試選件 |
| 加熱臺 |
樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 |
特殊定制 |
| 特點 |
1.顯微鏡龍門柱式設(shè)計，可使顯微鏡在平面內(nèi)移動。 |
| 2.顯微鏡可傾仰或氣動升降，便于更換物鏡。 |
| 3.可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復(fù)應(yīng)用。 |
| 4.同軸驅(qū)動卡盤，移動精度高。 |
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